Triclorosilan

Triclorosilanul (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78{-2) este un lichid incolor, foarte volatil, cu un miros ascuțit de clorură de hidrogen. Fierbând la 31,8 grade și reacționând violent cu umiditatea, este materia primă cheie pentru procesul Siemens de a produce polisiliciu de înaltă-puritate pentru celule solare fotovoltaice și plachete semiconductoare. TCS este, de asemenea, utilizat pe scară largă în creșterea plachetelor epitaxiale de siliciu, sinteza organosiliciului (uleiuri de silicon, cauciucuri, rășini, agenți de cuplare), depunerea de film subțire de siliciu CVD și ca agent reducător selectiv în sinteza organică. Disponibil în calitate industrială (mai mare sau egală cu 99,0%) și în calitate electronică (puritate de până la 9N). Clasificat ca reactiv la apă și foarte inflamabil (UN 1295, Clasa 4.3+2.3, PG I) cu o gamă explozivă extrem de largă de 1,2%–90,5%; manipulați numai în condiții strict anhidre cu protecție împotriva azotului uscat.